軍事領(lǐng)域是MEMS技術(shù)最早的應用領(lǐng)域之一，對推動MEMS技術(shù)的進步和發(fā)展起到了重大作用。當前，世界各國都非常重視MEMS技術(shù)在軍用設備中應用的研究。美國國防部高級研究計劃局(DARPA)把MEMS技術(shù)確認為美國急需發(fā)展的新興技術(shù)，并資助了大量MEMS項目，大力發(fā)展小型慣性測量裝置、微全分析系統(tǒng)、RF傳感器、網(wǎng)絡傳感器、無人值守傳感器等項目，應用于單兵攜帶、戰(zhàn)場實時監(jiān)測、毒氣以及細菌檢測、武器安全、保險和引信、彈道修正、子母彈開倉控制、超低功率無線通訊信號處理、高密度低功耗的數(shù)據(jù)存儲器件、敵我識別系統(tǒng)等方面。MEMS在軍用設備中的應用日漸廣泛和深入。
1 MEMS技術(shù)對武器平臺的優(yōu)化在海上武器應用方面，MEMS引信／保險和引爆裝置已成功地用于潛艇魚雷對抗武器上。引信／保險和引爆裝置的工作包括三個獨立步驟：發(fā)射魚雷后解除炸藥保險、引爆(引信)和防止在不正確時間爆炸(保險)。使用鍍有金屬層的硅結(jié)合巧妙的封裝技術(shù)，MEMS引爆裝置要比傳統(tǒng)裝置小一個數(shù)量級，可安裝在6．25英寸的魚雷上，這是其他技術(shù)無法實現(xiàn)的。在陸地應用方面，包括靈活且堅固的爆破裝置、發(fā)射裝置和其他使用MEMS慣性制導系統(tǒng)的武器平臺。MEMS加速度計能承受火炮發(fā)射時產(chǎn)生的近10．5 g的沖擊力，可以為制導導彈提供一種經(jīng)濟的制導系統(tǒng)，同時使導彈的可靠性、性能及服務時間提高5倍一l0倍，啞彈的數(shù)量減少一個數(shù)量級。MEMS慣性傳感器用于靈巧彈頭和鉆地彈頭中，其抗震能力足以使其能夠做到彈頭鉆入地下后，仍能對其進行制導、控制并引爆。MEMS輪胎壓力傳感器已經(jīng)用在美國軍隊裝甲運兵車的輪胎中。在空中應用方面，采用MEMS傳感器和致動器可實現(xiàn)對流體的準確控制，例如對噴氣引擎的紊流控制。長期以來，紊流對航空航天一直是個問題，發(fā)動機中的紊流降低了軸流速度，從而使推力減小，機翼上的紊流造成飛行拖滯。有了MEMS技術(shù)以后，使得在微觀尺度上對流體進行控制成為可能。其原理就是在特征面上布置微傳感器陣列，探測流體壓力和溫度的細小變化，然后通過控制器讓微致動器陣列準確地對消這些細小變化。當然同樣的方法也可以完全應用在飛機或?qū)椕善ど?，形成“智能蒙皮”，從而提高飛行速度和穩(wěn)定性。MEMS技術(shù)還使智能可重構(gòu)外形的機翼和空間柔性結(jié)構(gòu)成為可能。射頻微電子機械系統(tǒng)(RF．MEMS)是指利用MEMS技術(shù)制作各種用于電子通訊的射頻器件或系統(tǒng)，其研究目的是把半導體有源器件、微加工元件和MEMS器件集成到一塊芯片上或微系統(tǒng)上，從而實現(xiàn)單芯片上的射頻系統(tǒng)，使產(chǎn)品集成化、微型化、智能化，成倍提高器件和系統(tǒng)的功能密度、信息密度跟互連密度，大幅度地節(jié)能降耗。現(xiàn)代軍事電子信息系統(tǒng)，正朝著綜合化、大容量、多功能、超寬帶的趨向發(fā)展。同一作戰(zhàn)平臺上往往需要搭載多個子系統(tǒng)，如通信系統(tǒng)、偵察系統(tǒng)、定位系統(tǒng)、干擾系統(tǒng)，這使得擔負信息出入口功能的天線數(shù)量也大大增加，從而導致平臺裝載面減少、重量增加以及電磁兼容性等問題。電控可重構(gòu)天線能夠在不改變天線機械結(jié)構(gòu)的情況下，通過電控手段改變其關(guān)鍵參數(shù)，如工作頻率、方向圖、極化方式等，使一副天線實現(xiàn)多副天線的功能 j。美國軍方開展的可變波束天線研究，僅用1 Xn的單元實現(xiàn)n X n的相控陣天線。隨著RF．MEMS開關(guān)技術(shù)的成熟，國內(nèi)外研制的可重構(gòu)天線也開始更多地采用RF-MEMS開關(guān)。相比其它開關(guān)，RF．MEMS開關(guān)具有低插人損耗、高隔離、線性、寬帶(0．1 GHz～120 GHz)、低功耗等特性 J，并且還能與單片微波集成電路(MMIC)集成。自1998年N．S．Barker研制了第一個RF—MEMS移相器以來，目前已有多種RF—MEMS移相器的報道。RF．MEMS移相器具有較低的插人損耗、寬帶寬、小體積的特點。用RF—MEMS移相器替代傳統(tǒng)的微波移相器，提高了相控陣雷達、衛(wèi)星通信、移動通信設備中的抗干擾能力和靈敏度，降低了這些設備的重量、體積和成本。因此，研究RF—MEMS移相器在軍事上具有重要的意義。美國貝爾實驗室，早在2O世紀90年代，就開發(fā)出一種直徑為400m的齒輪。其后，諸多大學和研究機構(gòu)利用MEMS技術(shù)制造出了各類微型馬達和微型齒輪，這些器件是微型機器人的基本單元，催生了微型機器人的誕生。微型機器人是基于MEMS技術(shù)，有擬人功能，代替人完成任務的光機電一體化系統(tǒng)，尺寸一般很小，可自主、半自主或人工遙控工作。根據(jù)體積可分為厘米、毫米和微米尺寸機器人，有一定智能，可在微空問進行可控操作或采集信息，其最突出的優(yōu)點是能執(zhí)行常人無法完成的任務，而且可批量、廉價制造。美國研制的一種可探測核生化戰(zhàn)劑的微型機器人，只有幾毫米大小。還有一種構(gòu)想中的“黃蜂”微型機器人，只有幾十毫克重，可攜帶某種極小彈頭，能噴射出腐蝕液或?qū)щ娨海魯撤窖b備的關(guān)鍵電子部件。美國五角大樓認為軍用微型機器人的發(fā)展將有可能改變下一世紀的戰(zhàn)場。“智能塵?！笔俏⑿蜋C器人的一種，它由微處理器、無線電收發(fā)裝置和使它們能夠組成一個無線網(wǎng)絡的軟件共同組成。將這類微塵散放在一定范圍內(nèi)，它們就能夠相互定位，收集數(shù)據(jù)并向基站傳遞信息。近幾年，由于硅片技術(shù)和生產(chǎn)工藝的突飛猛進，集成有傳感器、計算電路、雙向無線通信模塊和供電模塊的微塵器件的體積已經(jīng)縮小到了沙粒般大小，但它卻包含了從信息收集、信息處理到信息發(fā)送所必需的全部部件。未來的智能塵埃甚至可以懸浮在空中幾個小時，向相關(guān)作戰(zhàn)人員提供實時或近實時的戰(zhàn)場信息，包括通過有人和無人駕駛的地面車輛、無人駕駛飛機、空中、海上及衛(wèi)星中得到的高分辨率數(shù)字地圖、三維地形特征、多重頻譜圖形等信息。系統(tǒng)軟件將采用預先制定的標準來解讀傳感器的內(nèi)容，將它們與諸如公路、建筑、天氣、單元位置等前后相關(guān)信息，以及由其他傳感器輸入的信息相互關(guān)聯(lián)，從而為交戰(zhàn)網(wǎng)絡提供諸如開火、甲車的行動以及爆炸等觸發(fā)傳感器的真實事件的實時信息。
微型飛行器(Micro Aerial Vehicle，MAV)的概念是由美國于20世紀90年代最先提出的，由于其具有特殊的用途而倍受關(guān)注。微型飛行器的姿態(tài)控制系統(tǒng)中的微型地平儀、微型高度計，導航系統(tǒng)中的微型磁場傳感器和微型加速度計、微陀螺儀等，飛行控制系統(tǒng)中的微型空速計、微型舵機等，在微型飛行器上應用的微型攝像機、微型通訊系統(tǒng)等，都需要MEMS技術(shù)的支持，以減少體積和重量，改善飛行器的性能。微型飛行器具有導航及通信能力，可用手擲、炮射或飛機部署，具有偵察成像、電磁干擾等作戰(zhàn)效能，被認為是未來戰(zhàn)場上的重要偵察和攻擊武器，具有價格低廉、便于攜帶、操作簡單、安全性好等優(yōu)點。目前，微型飛行器的研究主要集中在美、日、德等發(fā)達國家，正在研究的MAV主要有三種，一種是像飛機一樣的固定翼式，第二種是跟昆蟲和鳥類一樣的撲翼式，第三種是跟直升機一樣的旋翼式。美國MLB公司研制出翼展為45 cm的微型飛行器Bat，該機飛行時問20 min，飛行速度大約為64 km／h，飛行高度457 m；德國的IMM公司已經(jīng)研制出了一種直徑1．9ms、長度5．5 ms、重量91 mg、最大轉(zhuǎn)速達l0萬轉(zhuǎn)／分鐘的微型電機，同時利用這種微型電機制成了一架串列式雙旋翼的微型試驗直升機；日本東京大學的毫米級微型飛行機器人能在交變磁場中扇動翅膀；印度、澳大利亞等國家也都在研制不同用途的微型飛行器。現(xiàn)代戰(zhàn)場上，已經(jīng)能見到微型飛行器的身影。在阿富汗戰(zhàn)場上，美軍已開始使用一種名為“微星”的微型飛行器進行情報收集，海軍陸戰(zhàn)隊士兵可以通過便攜式電腦操縱“微星”，可偵察前方5 km的情況。5 基于MEMS技術(shù)的軍用微納衛(wèi)星微納衛(wèi)星通常指質(zhì)量小于100 kg，具有實際使用功能的衛(wèi)星。它是基于微電子技術(shù)、MEMS技術(shù)、微光電技術(shù)等技術(shù)發(fā)展起來的，體現(xiàn)了航天器微小化的發(fā)展趨勢。根據(jù)衛(wèi)星質(zhì)量，10 kg～100 kg的衛(wèi)星稱為微型衛(wèi)星(microsat)，1 kg一10kg的衛(wèi)星稱為納米衛(wèi)星(nanosat)，0．1 kg～1 kg的稱為皮衛(wèi)星(picosat)，0．1 kg以下的稱為飛衛(wèi)星(femtosat)。微納型衛(wèi)星具有功能密度與技術(shù)性能高、投資與運營成本低、靈活性強、系統(tǒng)建設周期短、風險小等優(yōu)點，受到了航天、軍事、工業(yè)以及研究機構(gòu)的廣泛關(guān)注，成為各國軍方都非常重視的航天技術(shù)發(fā)展方向之一。2002年2月7 H，由DARPA出資，Aerospace公司生產(chǎn)的兩顆繩系皮衛(wèi)星從近地球軌道上的“母”衛(wèi)星O．PAL(Orbiting Automated Picosat Launcher)上送入太空。此次試驗，驗證了MEMS技術(shù)在太空中的穩(wěn)定性及可靠性，對促進MEMS技術(shù)在微納型衛(wèi)星上的應用及發(fā)展起到重要作用。由于微納型衛(wèi)星具有低軌道、信號損耗小、機動靈活、抗毀性能強等優(yōu)點，很適合于戰(zhàn)場環(huán)境的監(jiān)視、偵察、目標定位、通信中繼等。作為未來高技術(shù)戰(zhàn)爭的“殺手锏”，在建立以衛(wèi)星為核心的C I(指揮、控制、通信、計算機和情報)一體化系統(tǒng)、提高戰(zhàn)術(shù)武器的隱蔽性、突防能力等方面，微小衛(wèi)星有極大的需求背景。而由微小衛(wèi)星構(gòu)成“衛(wèi)星攻防系統(tǒng)”更是能有效的防止敵國反衛(wèi)星武器攻擊。皮衛(wèi)星可以與主衛(wèi)星組成網(wǎng)絡，相互協(xié)同運行，當敵方反衛(wèi)星武器進行攻擊時，皮衛(wèi)星可以為主衛(wèi)星發(fā)送信息，使主衛(wèi)星及時采取措施，免遭攻擊；皮衛(wèi)星還可以誘惑、吸引敵方反衛(wèi)星武器，保護主星；皮衛(wèi)星也可用做反反衛(wèi)星武器，對敵方反衛(wèi)星武器進行攔截。目前，全世界范圍內(nèi)眾多研究機構(gòu)在進行新一代微納衛(wèi)星的研制，比如Dartmouth學院的Thayer工程系的學生研制的DARTSat，加州工學院研制的PloySat，臺灣NSPO(National Space Program Office)研制的YamSat，都相當具有代表性。信息、信息處理和通信網(wǎng)絡是每一次軍事活動的核心。縱觀歷史，軍隊統(tǒng)帥都將“信息優(yōu)先權(quán)”視為勝利的關(guān)鍵?；贛EMS技術(shù)制造的各類微型傳感器、微型飛行器、微型機器人和微納衛(wèi)星可以快速、準確并且廣泛地收集沖突區(qū)域信息，能給軍隊統(tǒng)帥提供準確、全面的戰(zhàn)場情報。同時，MEMS技術(shù)也能使武器平臺更靈敏、更準確并且更具殺傷力。所以，MEMS技術(shù)是未來軍用武器裝備中的支撐技術(shù)和關(guān)鍵技術(shù)。在軍事領(lǐng)域中迅速應用MEMS技術(shù)將是保持軍隊技術(shù)優(yōu)勢、維護國家安全的重要戰(zhàn)略。
